パワーレーザーDXプラットフォーム

装置詳細

ハイブリッドArFレーザー試験加工機

機関・部局 東京大学 TACMIコンソーシアム レーザー装置名 ハイブリッドArFレーザー試験加工機
レーザー波長 193 nm 光子エネルギー 6.42 eV
レーザー種 ArFレーザー ビーム数 1
運転モード Pulse パルスエネルギー
パルス幅 0.5 ns 繰り返し 6 kHz
ピークパワー 平均パワー 10 W
集光径 レンズF
集光強度 コントラスト
照射環境 大気 使用可能計測器 レーザー顕微鏡など
利用申請時期 ・有償利用(随時)
TACMIコンソーシアム入会
   
特徴 セラミックスなどの難加工材料の穴開け、切削など。サブナノ秒パルス幅の波長 193nm光により、大気、窒素の各雰囲気下で加工可能。ガルバノスキャナーによるフリーフォーム加工に対応。

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