装置詳細
ハイブリッドArFレーザー試験加工機
| 機関・部局 | 東京大学 TACMIコンソーシアム | レーザー装置名 | ハイブリッドArFレーザー試験加工機 |
|---|---|---|---|
| レーザー波長 | 193 nm | 光子エネルギー | 6.42 eV |
| レーザー種 | ArFレーザー | ビーム数 | 1 |
| 運転モード | Pulse | パルスエネルギー | |
| パルス幅 | 0.5 ns | 繰り返し | 6 kHz |
| ピークパワー | 平均パワー | 10 W | |
| 集光径 | レンズF | ||
| 集光強度 | コントラスト | ||
| 照射環境 | 大気 | 使用可能計測器 | レーザー顕微鏡など |
| 利用申請時期 | ・有償利用(随時) TACMIコンソーシアム入会 |
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| 特徴 | セラミックスなどの難加工材料の穴開け、切削など。サブナノ秒パルス幅の波長 193nm光により、大気、窒素の各雰囲気下で加工可能。ガルバノスキャナーによるフリーフォーム加工に対応。 | ||