パワーレーザーDXプラットフォーム

装置詳細

266nm20Wピコ秒レーザー加工装置

機関・部局 東京大学 TACMIコンソーシアム レーザー装置名 266nm20Wピコ秒レーザー加工装置
レーザー波長 266 nm 光子エネルギー 4.66 eV
レーザー種 Nd:YAG-4ω ビーム数 1
運転モード Pulse パルスエネルギー
パルス幅 13 ps 繰り返し 1 MHz
ピークパワー 平均パワー 20 W
集光径 レンズF
集光強度 コントラスト
照射環境 大気 使用可能計測器 レーザー顕微鏡など
利用申請時期 ・有償利用(随時)
TACMIコンソーシアム入会
   
特徴 ガラス、複合材などの難加工材料の穴開け、切断など。高出力のピコ秒深紫外光源 +高速ビームスキャンにより、高品位微細加工を高スループットで提供

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