装置詳細
266nm20Wピコ秒レーザー加工装置
| 機関・部局 | 東京大学 TACMIコンソーシアム | レーザー装置名 | 266nm20Wピコ秒レーザー加工装置 |
|---|---|---|---|
| レーザー波長 | 266 nm | 光子エネルギー | 4.66 eV |
| レーザー種 | Nd:YAG-4ω | ビーム数 | 1 |
| 運転モード | Pulse | パルスエネルギー | |
| パルス幅 | 13 ps | 繰り返し | 1 MHz |
| ピークパワー | 平均パワー | 20 W | |
| 集光径 | レンズF | ||
| 集光強度 | コントラスト | ||
| 照射環境 | 大気 | 使用可能計測器 | レーザー顕微鏡など |
| 利用申請時期 | ・有償利用(随時) TACMIコンソーシアム入会 |
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| 特徴 | ガラス、複合材などの難加工材料の穴開け、切断など。高出力のピコ秒深紫外光源 +高速ビームスキャンにより、高品位微細加工を高スループットで提供 | ||