装置詳細
EUV光
| 機関・部局 | 大阪大学 レーザー科学研究所 | レーザー装置名 | EUV光 |
|---|---|---|---|
| レーザー波長 | EUV | 光子エネルギー | EUV |
| レーザー種 | Plasma | ビーム数 | 1 |
| 運転モード | Pulse | パルスエネルギー | <1J |
| パルス幅 | ns | 繰り返し | |
| ピークパワー | 平均パワー | ||
| 集光径 | レンズF | ||
| 集光強度 | コントラスト | ||
| 照射環境 | 真空 | 使用可能計測器 | EUV分光器 カロリーメータ |
| 利用申請時期 | ・利用課題募集(年1回) ・有償課題募集(随時) |
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| 特徴 | EUV光源。EUVリソグラフィー。 材料プロセス。 | ||