装置詳細
EUV用レーザー
| 機関・部局 | 大阪大学 レーザー科学研究所 | レーザー装置名 | EUV用レーザー |
|---|---|---|---|
| レーザー波長 | 1064 nm | 光子エネルギー | 1.26 eV |
| レーザー種 | Nd:YAG | ビーム数 | 1 |
| 運転モード | Pulse | パルスエネルギー | 1 J |
| パルス幅 | 5 ns | 繰り返し | 10 Hz |
| ピークパワー | 200 MW | 平均パワー | |
| 集光径 | レンズF | ||
| 集光強度 | 1.0×1012 W/cm2 | コントラスト | |
| 照射環境 | 真空 | 使用可能計測器 | |
| 利用申請時期 | ・利用課題募集(年1回) ・有償課題募集(随時) |
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| 特徴 | EUV光源発生用レーザー | ||